- ?電源：220V 50/60Hz
  ?額定功率：3.1 KW
  ?最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h）
?連續工作溫度：≤1100℃
?推薦升溫速率：≤10℃/min
?加熱區長度：440mm
?熱電偶：K 型
?加熱元件：鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb
?爐管尺寸：石英管口徑可選φ60
?控溫精度：±1℃

詳細描述：

技術參數
產品型號	滑動PECVD管式爐系統 —— OYS-1200C-II-60-PECVD（φ60）
主要產品參數	?電源：220V 50/60Hz ?額定功率：3.1 KW ?最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h） ?連續工作溫度：1100 ℃ ?推薦升溫速率：≤10℃/min ?加熱區長度：440mm ?熱電偶：K型
主要特點	?射頻電源可以實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度； ?可通過爐體滑動達到快速升降溫； ?可以通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應力； ?可通過工藝調節控制化學計量； ?可沉積各種材料，如SiOx,SiNx,SiOxNy和（a-Si:H）等；
加熱元件	?鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb
爐管尺寸	?石英管口徑可選:φ60
溫控系統	?包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調節，智能化50段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能； ?控溫精度：±1℃
等離子射頻電源	300W射頻電源 ?輸出功率：0-300W可調 ?射頻頻率：13.56MHZ ?自動匹配 ?噪音＜50dB ?冷卻方式：風冷 ?輸入電壓：AC180-250V
真空密封法蘭接口	?標配：一對不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈；出氣端為三口法蘭分別為K16,KF25,φ8.2 ?出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉接頭與波紋管相連接再于真空泵相連；
真空泵	?采用雙旋片式機械真空泵TRP-12 ?真空度可以達到10-2torr； ?真空連接配件配有KF25卡箍及不銹鋼波紋管用于連接管式爐與真空泵；
供氣系統	三路質量流量混氣系統---GYS-3Z ?電源：220V 50/60HZ ?量程范圍分別為1-100SCCM，1-200SCCM，1-200SCCM ?有一機械壓力表安裝在前面板上，與混氣管相連接 ?壓力表量程:-0.1~0.15MPa ?混氣罐尺寸: φ80*120mm ?內部連接管道為?6.35
爐體結構	?爐體可以左右位移，射頻電源可以左右位移，爐體和射頻電源同時安裝在同一個滑軌上，使用同一根石英管
認證標準及核心零部件	?整機核心部件均符合CE、UL、MET等認證標準；核心零部件有ABB電器元件，UL認證電線、電纜，歐米茄，宇電、歐陸儀表等。
注意事項	?爐管內氣壓不得高于0.02MPA； ?由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； ?對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生(如爐管破裂，法蘭飛出等)； ?氣體的流量應限制在<200 SCCM(或200ml/ min)
售后	?質保期一年，終身維護，24小時在線服務； ?特別提示：耗材部分如加熱元件、爐管、坩堝等不包括在內；因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內。